品牌: | ULVAC | 规格: | 个 |
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型号: | CRTM-6000G |
CRTM-6000G水晶振荡式成膜控制器,具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸紧凑,可以对应低速率控制和最多99层的多层膜连续蒸发控制。
特点
优异的膜厚和成膜速率分辨率,在成膜速率低时也可以进行控制
125 ms的快速采样率可以很好地控制
可实现多层膜厚控制,最多可达99层
标准配有RS232C通信
最多可连接2个单传感器(可切换)
配备可编程数字输入/输出(各12ch)和模拟输出(3ch)
用途
蒸发时的膜厚及速率控制
规格
Film thickness/rate resolution | 0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz) |
Film thickness display range / display resolution/td> | 0.000~99.99 μm(0.000~999.9 k?) |
Deposition rate display range / display resolution | 0.01~99.99 nm/s(0.1~999.9 ?/s) |
Supported sensor frequency | 5MHz, 6MHz |
Number of sensors that can be attached | Single sensor::2(The simultaneous measurement cannot be done. It is a switch type. ) Multi sensor:1 |
Sampling rate | 125ms |
Number of multilayer film layers supported | 99 layers |
Number of deposition programs | 99 |
Digital I/O | Input : 12channels programmable Output : 12channels programmable |
Analog outputs | 3ch programmable |
External dimensions W×D×H | 240mm x 350mm x 99mm |
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