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ULVAC 日本 爱发科 EB枪?EB电源 金属膜用EB枪 EGN-206M
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ULVAC 日本 爱发科 EB枪?EB电源 金属膜用EB枪 EGN-206M
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不限 面议
  • 发 货 期:不限
  • 所 在 地:北京 朝阳区

详细信息

品牌: ULVAC 规格:
类型: EB电源 型号: EGN-206M

EGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。


采用平顶结构,减少了EB枪的着膜面积,实现了易维护性。



特点

  • 采用了平顶结构,减少了电子束蒸发源上的成膜区域,使清洁变得容易

  • 采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60%,从而简化了装配

  • 适用于金属成膜,氧化物/化合物点光束。

  • 作为设备制造商经验积累的成果





用途

  • 电子束蒸发的蒸发源





规格

ModelEGN-206MEGN-406M
Deflection angle270°270°
Quantity of crucibles66
Crucible capacity20cc40cc
Cooling-water flow rate10L/min10L/min
Dimensions W×D×H267mm×343mm×150mm267mm×343mm×150mm
Weight28kg28kg
















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