品牌: | ULVAC | 规格: | 个 |
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类型: | EB电源 | 型号: | EGN-206M |
EGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。
采用平顶结构,减少了EB枪的着膜面积,实现了易维护性。
特点
采用了平顶结构,减少了电子束蒸发源上的成膜区域,使清洁变得容易
采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60%,从而简化了装配
适用于金属成膜,氧化物/化合物点光束。
作为设备制造商经验积累的成果
用途
电子束蒸发的蒸发源
规格
Model | EGN-206M | EGN-406M |
Deflection angle | 270° | 270° |
Quantity of crucibles | 6 | 6 |
Crucible capacity | 20cc | 40cc |
Cooling-water flow rate | 10L/min | 10L/min |
Dimensions W×D×H | 267mm×343mm×150mm | 267mm×343mm×150mm |
Weight | 28kg | 28kg |
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