品牌: | ULVAC | 规格: | 个 |
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类型: | EB电源 | 型号: | EGO-40M |
基于ULVAC多年的技术积累设计的高可靠性EB枪。
特点
高性能偏转线圈提供***扫描性能和稳定,均匀的成膜工艺。
用途
电子束蒸发的蒸发源
规格
型号 | EGO-1G | EGO-40M | EGO-206M | EGO-406M | |
光束偏转角度 | 270° | ||||
坩埚数量 | 0 | 4 | 6 | 6 | |
坩埚容量 | - | 10cc ×2 / 40cc ×2 | 20cc | 40cc | |
冷却水量 | 坩埚 | - | 10L/min | 10L/min | 10L/min |
线圈 | 2L/min | - | - | - | |
外形尺寸 W×D×H | 168×285×174mm | 170×309×174mm | 200×339×176mm | 200×339×176mm | |
重量 | 10kg | 18kg | 18kg | 18kg | |
适用电源 | HPS-1000N-G100/G200 |
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联系人 | 周先生 |
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电话 | 15510102388 |