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北崎现货干式真空泵EBARA荏原高节能性能干式真空泵EV-M20N北崎现货干式真空泵EBARA荏原高节能性能干式真空泵EV-M20N
| 产品特性： | 真空泵 | 品牌： | EBARA 荏原 |
|---|---|---|---|
| 型号： | EV-M20N | 用途： | 真空泵 |
| 材质： | 铸钢 | 泵轴位置： | 边立式 |
| 叶轮吸入方式： | 双吸式 | 驱动方式： | 电动 |
| 输送介质： | 清水泵 | 流量： | ～19,200m3/h |
| 扬程： | ～15m |
北崎现货 干式真空泵 EBARA荏原 高节能性能 干式真空泵 EV-M20N
北崎现货 干式真空泵 EBARA荏原 高节能性能 干式真空泵 EV-M20N
干式真空泵是节能、高负荷工艺的理想选择
能够在重负荷下进行处理
兼容高温控制
节能
采用耐腐蚀材料标准
耐腐蚀性增强选项
在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz）
油
提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
产品介绍
荏原 （EBARA） 独特的高温技术支持高负荷工艺，在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能，可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料，还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容，可以处理各种高负荷工艺。
规范
| 型式 | 単位 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 排気速度 | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 到達圧力 | Pa | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | ***100 | ***100 | ***100 | ***160 | ***160 | ***200 | ***200 | ***200 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa?m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | - | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 概略質量 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 |
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| 联系人 | 周先生 |
|---|---|
| 电话 | 15510102388 |
