优势备库干式真空泵EBARA荏原节能节省空间的干式真空泵EV-S20P/N优势备库干式真空泵EBARA荏原节能节省空间的干式真空泵EV-S20P/N
产品特性: | 真空泵 | 品牌: | EBARA 荏原 |
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型号: | EV-S20P/N | 用途: | 真空泵 |
材质: | 铸钢 | 泵轴位置: | 边立式 |
叶轮吸入方式: | 双吸式 | 驱动方式: | 电动 |
输送介质: | 清水泵 | 流量: | ~19,200m3/h |
扬程: | ~15m |
优势备库 干式真空泵 EBARA荏原 节能 节省空间的干式真空泵 EV-S20P/N
优势备库 干式真空泵 EBARA荏原 节能 节省空间的干式真空泵 EV-S20P/N
节能、节省空间的干式真空泵
节能
紧凑轻巧
耐腐蚀材料选项
可选 N2 吹扫型号
在不同频率下具有相同的性能 (50/60 Hz)
油
提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
产品介绍
独特的转子设计和怠速功能实现了世界水平的节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
规范
型式 | 単位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
排気速度 | L/min | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
到達圧力 | Pa | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
接続口径 | 吸気口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
排気口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
到達圧力時電力概略値 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa?m3/s | - | 17~20 (2.4) | - | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | |||
電源 相/電圧/周波数 | 200Vモデル | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | |
400Vモデル | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | - | - | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | ||
電源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
概略質量 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 |
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联系人 | 周先生 |
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电话 | 15510102388 |