精品橱窗
北崎有售LINTEC林泰克高质量流量控制器MC-7200D北崎有售LINTEC林泰克高质量流量控制器MC-7200D
| 产品特性： | LINTEC | 是否进口： | 否 |
|---|---|---|---|
| 产地： | 日本 | 加工定制： | 否 |
| 品牌： | LINTEC林泰克 | 型号： | MC-7200D |
北崎有售 LINTEC林泰克 高质量流量控制器 MC-7200D
北崎有售 LINTEC林泰克 高质量流量控制器 MC-7200D
高速应答质量流量控制器MC-7000
应答时间200msec的超高速质量流量控制器（MFC）。
通过使用热传感器，实现100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC***的非接触式热流量传感器和压电控制阀，可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。
流量精度可达到±1.0％S.P.，数字通信方式可选择DeviceNet或EtherCAT。
产品特点
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用温度5～50℃
金属密封材
无尘（粒子标准监控）
周围温度补偿传感器
支持EtherCAT通讯方式
支持DeviceNet?通讯方式
使用范例
快速刻蚀工艺
在半导体制造工艺中，在微细化的同时还需要提高产量。对于控制反应气体流量的质量流量控制器来说，缩短流量控制开始(启动)时间的需求日益增加。超高速质量流量控制器【MC-7000】因为使用了非接触式热式流量传感器，流量传感器与流量测量气体不接触，可实现200msec的超高速响应。同时，因为非接触式的特点，该流量控制器可用于测量腐蚀性气体。
产品规格表
| 温度 | 最小压差 | 压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~***F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
我公司长期提供【北崎有售 LINTEC林泰克 高质量流量控制器 MC-7200D】，如果您对我们的【北崎有售 LINTEC林泰克 高质量流量控制器 MC-7200D】感兴趣，请随时拨打下方的电话，点击留言或QQ与我交谈。联系我时，请说明是在供应商网上看到的，谢谢！
| 联系人 | 周先生 |
|---|---|
| 电话 | 15510102388 |
