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北崎有售LINTEC林泰克EtherCAT质量流量控制器MC-5470C北崎有售LINTEC林泰克EtherCAT质量流量控制器MC-5470C
| 产品特性： | LINTEC | 是否进口： | 否 |
|---|---|---|---|
| 产地： | 日本 | 加工定制： | 否 |
| 品牌： | LINTEC林泰克 | 型号： | MC-5470C |
北崎有售 LINTEC林泰克 EtherCAT质量流量控制器 MC-5470C
北崎有售 LINTEC林泰克 EtherCAT质量流量控制器 MC-5470C
EtherCAT质量流量控制器MC-5000C
用于半导体生产工艺的高性能质量流量控制器的EtherCAT通讯版本，符合SEMI认证。EtherCAT通讯用于半导体制造设备的高速传输系统。
标配包括半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC***的环境温度补足式质流传感器，支持液化气体等选配规格。
特别之处
精度范围±1%S.P.
金属密封
无尘生产(粒子标准监控)
环境温度补足式质流传感器
EtherCAT 通信
选配规格
小流量 F.S.
液化体
Large-flow 范围
使用范例
EtherCAT通讯设备的统一化
越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通讯接口（数字I/F），用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通讯有65,536个节点，MFC的所有测量系统和驱动系统元件都可以与EtherCAT通讯统一。
规格表
| 温度 | 最小压差 | 压差 | 精度 | 控制范围 | *** F.S. | 马克斯 FS | 密封 |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~***满量程 | 10单片机CM | 300 升 | 金 |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
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| 联系人 | 周先生 |
|---|---|
| 电话 | 15510102388 |
