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北崎有售 LINTEC林泰克 低压差质量流量控制器  MC-3102S

北崎有售 LINTEC林泰克 低压差质量流量控制器  MC-3102S

低压差质量流量控制器MC-3000S

最小工作压差800Pa（6 Torr）的低压差质量流量控制器。

搭载LINTEC***的环境温度补足式质流传感器抵压损构造，在±1%F.S.正確范围内减少压力损失。

搭载***的高性能压电控制阀,在低压差环境下亦可实现稳定、***的流量控制。

特别之处

• 低差 （800Pa）

• 工作温度：5~50°C

• 金属密封胶

• 无尘生产(粒子标准监控)

• 环境温度补足式传感器

• RS-485numeric通讯接口

选配规格

• 微流量 F.S.

使用范例

低蒸气压气体在低温环境下的流量控制

MC-3000S系列是采用LINTEC独自开发的抵压损构造的质量流量控制器，如果次侧为真空状态，即使在常温条件下也能对H2O等液原料进行流量控制。 推荐使用ITO 溅射方法，该方法将少量水蒸气发送到vacuum room。 此外，即使是低蒸气压的固体原料（如 XeF2），常温条件下也可以进行流量控制。

减压罐容器（SDS vessel）的流量控制减压罐容器（SDS容器）的流量控制

离子注入设备中使用AsH3和PH3等特殊材料气体，并且通常使用安全输送源Safe Delivery Source（SDS）容器来实现安全稳定的输送。 SDS填充的罐压低于大气压，需使用对应低压差环境的MFC。 搭载低压差结构的MC-3000S系列产品，则可以满足这一需求。

规格表

※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。