北崎有售LINTEC林泰克经济型质量流量控制器MC-10RC北崎有售LINTEC林泰克经济型质量流量控制器MC-10RC
产品特性: | LINTEC | 是否进口: | 否 |
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产地: | 日本 | 加工定制: | 否 |
品牌: | LINTEC林泰克 | 型号: | MC-10RC |
北崎有售 LINTEC林泰克 经济型质量流量控制器 MC-10RC
北崎有售 LINTEC林泰克 经济型质量流量控制器 MC-10RC
经济型质量流量控制器MC-10RC
采用橡胶密封的质量流量控制器,具有制作周期短、成本低的特点。
适用于Ar、N2等惰性气体及Air的流量控制。由于型号固定,所以制作周期较短。
选配VR(可变流量)功能可改变流量范围。支持RS-485数字通信接口。
特点
经济适用
选配规格
可变流量(VR)功能
RS-485通讯接口
使用范例
PVD
在PVD溅射镀膜设备中,通常使用Ar(氩),这是一种稳定的、耐化学反应的惰性气体。 如果您需要使用MFC控制Ar之类的惰性气体的流量,我们建议使用经济型质量流量控制器(MC-10RC)。
惰性气体分析、实验设备
如果流量控制的目标气体不会腐蚀密封材中的树脂部分,我们建议使用经济型质量流量控制器MC-10RC。此外,可选的VR功能可支持不同气体类型与流量范围。该产品是简单实验、分析设备的理想选择。
规格表
温度 | 最小压差 | 压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | F.S. | 密封材 |
15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~***F.S. | 10SCCM | 150SLM | 橡胶 |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
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联系人 | 周先生 |
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电话 | 15510102388 |