发布时间:2025-02-22 16:47:06
特点
节能、节省空间的干式真空泵
节能
紧凑轻巧
耐腐蚀材料选项
可选 N2 吹扫型号
在不同频率下具有相同的性能 (50/60 Hz)
油
提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
产品介绍
独特的转子设计和怠速功能实现了世界水平的节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
EBARA荏原 高节能性能干式真空泵 EV-M805SF
EBARA荏原 高节能性能干式真空泵 EV-M805SF
规范
型式 | 単位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
排気速度 | L/min | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
到達圧力 | Pa | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
接続口径 | 吸気口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
排気口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
到達圧力時電力概略値 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa?m3/s | - | 17~20 (2.4) | - | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | 17~20 (2.4) | |||
電源 相/電圧/周波数 | 200Vモデル | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200-220V,50/60Hz | |
400Vモデル | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | - | - | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-440V,50/60Hz | ||
電源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
概略質量 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 |
代理品牌:CCS 晰写速 SEN 日森、EYE 岩崎、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克 SONIC 索尼克、SANKO 三高、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、NPM 日脉 NS 日本科学、DRY-CABI 东利繁、TOKISANGYO 东机、TOPCON 拓普康、 SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山、Kakuhunt 写真化学、NIPPON GEAR 日本齿轮 NIDEC 尼得科、MIYACHI 天田、TORAY 东丽 优势品牌:USHIO 牛尾、AITEC 艾泰克、FUNATECH 船越龙、ORC 欧阿西 SAGADEN 嵯峨、SAKAZUME 坂诘、TORAY 东丽、DNP 大日本科研、TOKYO DENSHOKU 电色、 KKIMAC S-VANS 斯万斯、ORIHARA 折原、LUCEO 鲁机欧、HIKARIYA 光屋、YAMADA 山田光学 AND 艾安得、T&D 天特、JIKCO 吉高、DKK-TOA 东亚电波、OKANO 冈野、ANRITSU 安立计器 IMV 艾目微、MITUTOYO 三丰、KYOWA 共和、ONOSOKKI 小野、SANEI 三荣、HEIDON 新东科 学 KURABO 仓纺、SHOWA 昭和、THINKY 新基、AIKOH 爱光、SEM 坂本电机 SURUGA 骏河、ACCRETECH 東京精密、SANSYO 三商、ITOH 伊藤、NAGARISHI 成茂、 RKC 理化、MACOME 码控美、EIWA 荣和、EXCEL 艾库斯、YODOGAWA 淀川等 优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED 视觉光源、表面检查灯、手持检测灯 变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED 光源机、 电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH 计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、 压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测 试仪