精品橱窗
| 品牌： | SATOVAC | 规格： | 个 |
|---|---|---|---|
| 类型： | 紧凑型CVD装置 | 型号： | SFCV-1003 |
这是一种管式炉式高温热CVD系统，适用于大学和科研院所使用石墨烯等烃类化合物开发各种材料。 我们把小尺寸和小尺寸的试件做得更小，这样操作简单就可以制造出来，同时，我们实现了成本的***降低。
此外，它还配备了5~100Pa的压力控制功能，这在过去是紧凑的尺寸难以做到的，因此可以处理更多种类的加工模式。 对于基于碳氢化合物的可燃气体，我们配备了安全装置，例如由于警报检测而关闭设备和大气气体稀释装置。
主要技术指标
| 炉芯管 | 透明石英管（加热温度100~1000°C） |
|---|---|
| 氧化铝管（加热温度1000~1400°C） | |
| 反应气体供应 | 2~60sccm（氢气、甲烷、乙烷、工业芘、乙炔、苯等） |
| 压力控制 | 5~100Pa |
| 防止向大气中排放易燃气体的措施 | 废气通过喷射器用低于易燃混合范围的空气稀释 |
仪器配置
| 型 | SFCV-1001型 | SFCV-1003型 | SFCV-1501型 | |
|---|---|---|---|---|
| 管式炉 | 炉芯管 | 材料 | 透明石英管 | 氧化铝管 |
| 钻 | φ24mm、φ50mm | φ24毫米 | ||
| 加热温度 | 习惯性使用 | 100~1000°摄氏度 | 500~1400°摄氏度 | |
| 麦克斯 | 1150°摄氏度 | 1500°摄氏度 | ||
| 加热面积 | 1 个区域 | 3个区域 | 1 个区域 | |
| 加热器容量 | 1.0千瓦 | 2.4kW | 1.2千瓦 | |
| 真空排气 | 油旋转真空泵 | 抽速：100~150L/min | ||
| 供气 | 质量流量控制器 | 流量：10~100sccm | ||
| 气体管式流量计 | ||||
| 气体稀释 | 空气喷射器 | 空气流量：15 Nl/min | ||
| 真空计 | 压力控制 | 电容压力计：0.133~1330Pa，100Pa~133kPa | ||
| 常压减压 | 数字耦合：-100kPa~+100kPa | |||
| 控制 | 温度控制 | 程序控制 | ||
| 压力控制 | 阀门开/关控制 | |||
| 操作面板 | 仪表开关、程序温度控制器、真空计 显示：温度、真空度、操作装置开/关、报警、电源 | |||
| 权力 | 单相的 | 100V/30安培 | 100V/50安培 | 200V/20安培 |
| 外形尺寸 | W×D×H | 1450×500×1200毫米 | ||
| 质量 | 125公斤 | 134公斤 | 128公斤 |
系统图
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| 联系人 | 周先生 |
|---|---|
| 电话 | 15510102388 |
