精品橱窗
| 品牌： | SATOVAC | 规格： | 个 |
|---|---|---|---|
| 类型： | 紧凑型CVD装置 | 型号： | SRC-100V |
是一款小型、高性能的辊涂机，适用于研发和小批量生产。 提供等离子处理、溅射和沉积装置。
主要技术指标
| 极限压力 | ×10\u20125 PA |
|---|---|
| 真空计 | BA真空计，电容压力计 |
| 工件尺寸 | 宽100mm×长200m×t 50~100um |
| 进给速度 | 0.2~4m/min（CW/CCW可） |
| 真空室 | SUS304 W500×H850×D450毫米 |
| 卷筒 | φ250水冷式 |
| 轴封 | 使用磁性密封 |
| 预沉积等离子体处理 | 1 x 13.56MHz 射频电极× |
| 蒸发源 | （1） 70×200 DC 磁控管型 ×多达 2 种类型 （2） 电阻蒸发源 |
| 主泵 | TMP 1100L/秒 |
| 废气排气 | 冷冻超级捕集器 |
| 工艺气体 | 氩气 ， O2 ， N2 ， 质量流量控制器 |
| 面积 | 4㎡ |
| 效用 | ?AC200V 3φ 100A ?冷却水 |
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|---|---|
| 电话 | 15510102388 |
